派瑞林是一種保護性高聚物材料，派瑞林通過真空氣相沉積方法制備。派瑞林涂層具有很好的熱性能、化學穩定性，可抵御酸堿、鹽霧、霉菌各種腐蝕性氣件的侵害，被廣泛應用于航空航天、電子工業、醫療器械等方面的表面防護應用。派瑞林涂層被譽為較優秀的三防材料之一，本期百騰小編為您簡單分享：何為派瑞林CVD化學氣相沉積工藝?

一、派瑞林真空鍍膜工藝

常規派瑞林真空鍍膜設備，由蒸發室、裂解室、沉積室、低溫冷阱和真空泵5部分組成，其工藝方法及過程是，首先通過真空泵獲得所需的真空度；然后對蒸發室加熱到150℃將放置在蒸發室內的固體派瑞林材料蒸發；接著對裂解室加熱到650℃以上，蒸發后通過裂解室的材料被裂解成單體分子；經過裂解的單體分子在25℃左右的沉積室內涂敷到基材表面生成保護性薄膜；對于沒有在沉積室內被利用的材料則被低溫冷阱表面捕獲。

二、派瑞林真空鍍膜設備的鍍膜應用領域

1、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于磁性材料領域

派瑞林獨特的制備工藝和優異性能相結合，使它能對小型超小型磁材進行無薄弱點全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國際上小型或者超小型磁材，幾乎都采用派瑞林鍍膜工藝作絕緣和防護涂層。

2、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于印制電路組件和元器件領域

鍍膜材料通過派瑞林真空鍍膜設備使得活性的對二甲苯雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個細小縫隙的基材上沉積，形成分子量約50萬的高純聚合物。

3、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于微電子集成電路領域

派瑞林的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的派瑞林涂層介電常數也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此派瑞林（Parylene）不僅可用作防護材料，而且也能作為結構層中的介電材料和掩膜材料使用，經派瑞林（Parylene）涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。

4、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于微電子機械系統（MEMS）領域

派瑞林（Parylene）能在0.2um厚時就完全沒有針孔，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統中，除了作電介質材料外，還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。

5、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于傳感器領域

派瑞林（Parylene）在傳感器領域中的應用，除了作絕緣介質外，更多用作防護材料，它能耐酸、堿和有機溶劑，對水汽和鹽霧等惡劣環境有極好的阻隔防護能力，用極薄的涂層提供良好的防護。

6、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于生物醫用電子領域

派瑞林不僅電性能，防護性能好，而且生物相溶性也好，它已通過美國FDA論證，滿足美國藥典生物醫用材料VI類標準，被列為是一種可以在體內長期植入使用的生物醫用材料。

7、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于光纖光纜接頭密封件領域

光纖光纜接頭在使用中可能遇到各種不同的環境，通常使用含有硅橡膠密封圈的接頭使光纜與環境相隔離，經派瑞林涂敷后的硅橡膠密封圈，能更好的適應各種惡劣環境，防止硅橡膠老化，延長密封圈的壽命。

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